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真空机组/真空实验装置定制

分子泵机组可定制各种规格的接口,机组由分子泵,前级机械泵,隔断放气阀,真空计,控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可广泛用于表面分析,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。

产品详情

微纳真空“vnano”依托专业的真空产品设计能力、完善的真空获得系统供应商配套体系以及快速的服务响应支持,承接各种真空度要求的真空抽气机组按图定制、开发设计。为高校、科研机构及中小企业的真空镀膜设备、真空试验装置等提供真空机组选型、搭配、真空度控制等完整解决方案。

根据客户要求定制的真空抽气机组有:

1. 粗真空、低真空抽气机组:

1.1 机械泵机组:可选择单级旋片泵,双极旋片泵,无油干泵等。

1.2 机械泵+罗茨泵机组

2. 高真空抽气机组

2.1 机械泵+扩散泵抽气机组

2.2 机械泵+分子泵抽气机组

型号

VFJ-110

VFJ-620

VFJ-1200

分子泵型号

FF-100/110

FF-160/620

FF-200/1200

前级泵型号

TRP-12

TRP-24

TRP-36

抽气速率(对空气)

100L/s

600L/s

1200L/s

极限真空

优于10-5Pa

电控系统

手动按钮控制/PLC全自动抽真空控制,完善的逻辑互锁保护及水压异常报警;

配电要求

220V/380V

220V/380V

380V

其它配置

冷却循环水机;

2.3 机械泵+罗茨泵+扩散泵抽气机组

2.4 机械泵+罗茨泵+分子泵抽气机组

3. 超高真空抽气机组

3.1 机械泵+分子泵+离子泵抽气机组

4. 无油真空抽气机组

4.1 干泵机组

4.2 干泵+磁悬浮分子泵抽气机组

4.3 干泵+低温泵抽气机组