自动控制真空机组/真空排气台
分子泵机组可定制各种规格的接口，机组由分子泵，前级机械泵，隔断放气阀，真空计，控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。
微纳真空“vnano”依托专业的真空产品设计能力、完善的真空获得系统供应商配套体系以及快速的服务响应支持，承接各种真空度要求的真空抽气机组按图定制、开发设计。为高校、科研机构及中小企业的真空镀膜设备、真空试验装置等提供真空机组选型、搭配、真空度控制等完整解决方案。
根据客户要求定制的真空抽气机组有：
1. 粗真空、低真空抽气机组：
1.1 机械泵机组：可选择单级旋片泵，双极旋片泵，无油干泵等。
1.2 机械泵+罗茨泵机组
2. 高真空抽气机组
2.1 机械泵+扩散泵抽气机组
2.2 机械泵+分子泵抽气机组
型号 | VFJ-110 | VFJ-620 | VFJ-1200 |
分子泵型号 | FF-100/110 | FF-160/620 | FF-200/1200 |
前级泵型号 | TRP-12 | TRP-24 | TRP-36 |
抽气速率（对空气） | 100L/s | 600L/s | 1200L/s |
极限真空 | 优于10-5Pa； | ||
电控系统 | PLC全自动抽真空控制，完善的逻辑互锁保护及水压异常报警； | ||
配电要求 | 220V/380V | 220V/380V | 380V |
其它配置 | 冷却循环水机; | ||
2.3 机械泵+罗茨泵+扩散泵抽气机组
2.4 机械泵+罗茨泵+分子泵抽气机组
3. 超高真空抽气机组
3.1 机械泵+分子泵+离子泵抽气机组
4. 无油真空抽气机组
4.1 干泵机组
4.2 干泵+磁悬浮分子泵抽气机组
4.3 干泵+低温泵抽气机组
