多源有机金属蒸发镀膜设备（6-12组蒸发源）
设备主要特点
VZZ-400 高真空有机金属蒸发镀膜机的用户群体为科研院所及实验室，可蒸镀金属、低熔点无机物以及有机物薄膜等，广泛应用于材料、物理、化学、电子、能源等相关学科，以及开展OLED、OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池研究。
设备主要特点有：
★ 设备机电一体化、整机全封闭设计，兼具“使用安全、检修方便、美学和用户操控体验”的全新升级产品。
★ 304不锈钢材质、镜面抛光、前开门的真空室，真空抽速快，真空极限高，使用维护方便。
★ 1200L/s分子泵作为主抽泵，真空极限高达5×10-5Pa(3.75×10-7Torr)；
★ 四组蒸发源，兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计，源间有隔板；
★ 专业真空蒸发电源，真正恒流输出；配两台蒸发电源，可沉积多层膜及复合膜；
★ 基片台110×110mm，基片台有挡板并设计旋转；可根据用户要求设计定制2套掩膜板；
★ 源-基距≥330mm，Inficon 膜厚仪监测蒸发速率和终厚，达到良好的薄膜均匀性和重复性；
主要技术指标
型号 | VZZ-400 | VZZ-400S | VZZ-400X |
真空室 | Φ400×H450mm； | Φ400×H450mm； | 非标定制型： 根据您提供的技术要求、文献资料和项目经费，我们为您量身设计和优化配置，让设备拥有您的想法。 |
304不锈钢真空室，内表面镜面抛光 | 304不锈钢真空室，内表面镜面抛光 | ||
真空系统 | 国产分子泵+合资机械泵 | 进口分子泵+进口机械泵/干泵 | |
极限真空 | 优于10-5Pa | 优于2.0×10-5Pa | |
恢复真空时间 | 达到9×10-4Pa≤20min | ||
蒸发源 | 3～4组蒸发源；至少2组共蒸 | 4～6组蒸发源，可共蒸 | |
电控系统 | 手动按钮继电器控制，完善的逻辑程序互锁保护及异常报警； | 可实现全自动控制，可编程控制器（PLC），液晶显示触摸屏 | |
选配 | 冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/掩膜板mask/蒸发电源/钨舟钼舟 | ||
设备配电 | 电压：AC220V/50HZ | ||
功率：≤6KW | |||
设备尺寸 | 长×宽: 1310mm×900mm | ||
型号推介 | 所有配置均为国产一线品牌，性能稳定可靠 | 核心配置均为进口知名品牌，技术先进，该型号产品可替代进口 | 非标定制 |
技术支持&服务
1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出最优的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。
2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。
3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）
4. 终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费，免除一切人工费用。
