高真空热蒸发镀膜与手套箱复合设备
设备主要特点：
真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于OPV、OLED、PLED等研究领域。
该套系统在我公司成熟的真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的平台上，根据OPV/钙钛矿太阳能电池薄膜沉积特点，对蒸发系统进行再设计和深度定制。
★ 真空机组采用分子泵+直联旋片泵准无油真空系统；
★ 蒸发源采用兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计；
★ 专业真空蒸发电源，恒流输出，控制精度在0.5A（蒸发速率相对可控）；
★ 基片台旋转，转速1-20rpm可调；
★ 可定制掩膜机构（mask），采用Inficon膜厚监控系统精确监测蒸发速率和终厚；
★ 大箱体组装真空蒸发系统，底部开石英视窗，承担蒸发和检测功能；小箱体组装旋涂仪，承担旋涂功能；两者之间通过T型过渡舱连接；
★ 系统PLC手自独立控制，良好的薄膜均匀性和重复性；
主要技术指标：
型号 | VZB-Ⅰ | VZB-Ⅱ |
真空腔体 | 400×400×450mm | 有机-金属采用两个独立真空腔室， 400×400×450mm |
304不锈钢，内表面镜面抛光 | 有机-金属均采用304不锈钢，内表面镜面抛光 | |
手套箱体 | 大箱体1800×750×900mm 小箱体1200×750×900mm | 大箱体1800×750×900mm 小箱体1200×750×900mm |
真空系统 | 国产分子泵+合资机械泵 | 有机-金属采用两套独立的真空系统， 均采用（FF-200/1200）+直联旋片泵(TRP-36) |
极限真空 | 优于2.0×10-5Pa | |
恢复真空时间 | 10-5Pa≤1h | |
蒸发源 | 3～4组蒸发源 | 有机蒸镀：3～4组蒸发源 金属蒸镀：3～4组蒸发源 |
蒸发电源 | 1～2台蒸发电源 | 有机蒸镀：1～2台蒸发电源 金属蒸镀：1～2台蒸发电源 |
基片台 | 最大110mm基片/15*15mmITO玻璃25片，可旋转/加热/水冷，可定制掩膜板 | |
膜厚控制 | 采用国产/进口膜厚监控仪在线监测蒸发速率和最终厚度 | |
电控系统 | 手动按钮继电器控制，完善的逻辑程序互锁保护及异常报警； 可实现全自动控制，可编程控制器（PLC），液晶显示触摸屏 | |
选配 | 冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源/旋涂仪/太阳能模拟光源 | |
技术支持&服务：
1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出最优的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。
2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。
3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）
4. 终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费，免除一切人工费用。
