高真空电阻蒸发镀膜设备-可嵌入手套箱
VZB-400型高真空电阻蒸发镀膜设备（以下简称“蒸镀设备”）的主要用户群体为大专院校和科研院所，该设备将真空蒸发镀膜工作室置于手套箱无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，实现试验样品在真空手套箱环境中完成旋涂、蒸镀、测试等工艺流程。
主要特点/优势：
★ 蒸镀设备前开门嵌入手套箱中，当前开门滑开，蒸镀设备工作室与手套箱操作间即为一体，因此不需要借助传递工具或者破空来转移试验样品；
★ 蒸镀腔体采用SUS 304不锈钢材料，腔体内表面包括屏蔽板全部镜面抛光，可以获得洁净的工作环境和良好的真空度；
★ 真空获得采用大抽速分子泵+直联旋片泵（内置防返油止逆阀）准无油真空系统，其中主泵采用1200L/s抽速复合分子泵，标配旁抽结构，可不停主泵开启真空室；
★ 蒸镀室真空极限优于2.0×10-5Pa，1～2h即可抽到9.9×10-5Pa；
★ 蒸发源“品”字形（3源）或圆周式（4～6源）等距分布，源间有隔板和独立挡板；
★ 蒸发电源；2台【2Kw 1台，3Kw 1台（蒸发高熔点材料或者沉积厚膜）】蒸发电源，可实现两源共蒸；电源可切换恒流/恒功率控制模式，可以预设工作电流；
★ 操控系统：PLC+触摸屏，程序互锁、防误操作、简单易学。
主要技术指标：
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型号 |
VZB-400 |
VZB-400Pro |
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真空室 |
L×W×H：400×400×470mm（净尺寸）； |
L×W×H：400×400×470mm（净尺寸）； |
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304不锈钢真空室，内表面镜面抛光； |
304不锈钢真空室，内表面镜面抛光； |
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真空系统 |
复合分子泵+合资机械泵； |
进口磁悬浮分子泵/低温泵+进口干泵； |
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极限真空 |
优于2.0×10-5Pa（1.0×10-7Torr）； |
优于3.0×10-6Pa（2.0×10-8Torr）； |
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恢复真空时间 |
达到4.0×10-4Pa≤20min； |
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蒸发源 |
3～6组蒸发源；至少2组共蒸 |
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蒸发电源 |
2KW，精度0.1A；专业真空蒸发电源，恒流/恒功率控制。 电流、功率可以预先设置，可实现一键启动和停止的自动控制功能 |
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基片台 |
110mm方形基片或15～25mm ITO/FTO玻璃25片，可定制一体化高精度刻蚀掩膜板； 基片台可选择加热（室温～300℃可调可控）或水冷 |
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速率和膜厚监控 |
监测厚度范围：0.1Å～99µ9999Å，分辨率0.1Å；监测速率范围：0.1Å～9999.9Å./s，分辨率0.1Å/s |
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电控系统 |
PLC+触摸屏手自一体控制 |
全自动控制，PC+PLC+触摸屏 |
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报警及保护 |
完善的程序互锁，完备的防误操作设计及保护； 系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。 |
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选配 |
手套箱/冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源 |
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设备配电 |
电压：AC380V/50HZ |
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功率：≤6KW |
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设备尺寸 |
长×宽：1625×750mm |
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型号推介 |
所有配置均为国产一线或进口品牌，性能稳定可靠 |
核心配置为进口知名品牌，技术先进,替代进口设备 |
技术支持&服务：
1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出最优的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。
2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。
3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）
4. 终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费，免除一切人工费用。
