产品&应用 
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电子束蒸发与手套箱一体设备

VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能,具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台,配1~3组电阻蒸发源。结构合理紧凑,性能稳定可靠,操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。

产品详情

VZZS-550/VZZS-650 高真空电子束复合热蒸发镀膜设备,兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能,采用完全封闭的系统框架,结构紧凑,外观更漂亮,使用更安全。6-10KW e型电子枪可选国产或进口,可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物(ITO等氧化物)/导电薄膜/光学薄膜等。

主要特点/优势:

     完全封闭的系统框架设计,外观更漂亮,使用更安全;是一台兼具美学和用户操控体验的全新升级产品;

     前开门真空腔体,方便取放基片、添加蒸发材料以及真空室的日常维护;

     1200L/s1600 L/s分子泵作为主抽泵,真空极限高达5×10-5Pa(3.75×10-7Torr);另可选进口磁悬浮分子泵或者低温泵作为主抽泵,真空极限高达3×10-6Pa(2×10-8Torr)

     610KW e型电子枪,4-8穴坩埚可选;1~3组热蒸发源,1~3台蒸发电源可选;

     最大180mm基片/1525mm ITO/FTO玻璃30/拱形或半球形样品架,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;基片台公转,转速025rpm连续可调;平板基底衬底可选择加热或水冷;

     更优的薄膜均匀性和重复性,采用进口膜厚监控仪在线监测和控制蒸发速率、膜厚;

     可沉积金属(Au, Ag, Al, Ti, Pt, Mo, Fe, Cr, Ni等)、化合物(ITO等)及有机物材料(进口电子枪);

主要技术指标:

型号                

VZZS-550                

VZZS-650                

真空室                

Φ550×H550650mm                

Φ650×H600750mm                

304不锈钢真空室,内表面镜面抛光;                

304不锈钢真空室,内表面镜面抛光;                

真空系统                

复合分子泵+合资机械泵                

进口磁悬浮分子泵/低温泵+进口干泵                

极限真空                

优于8×10-5Pa6×10-7Torr                

优于3.0×10-6Pa2.0×10-8Torr                

恢复真空时间                

达到5×10-4Pa≤20min                

e型电子枪                

阳极电压6KV-10KV,带有XY偏转扫描;4穴、6穴、8穴、环形可选,12cc22cc40cc等;                

热蒸发源                

13组热蒸发源,13台蒸发电源可选;                

基片台                

180mm方形基片或/拱形、球形基片架,可定制一体化高精度刻蚀掩膜板                

基片台可选择加热(室温~300可调可控)或水冷                

速率与膜厚监控                

监测厚度范围:0.1Å99µ9999Å,分辨率0.1Å;监测速率范围:0.1Å9999.9Å.S/s,分辨率0.1Å                

工艺气体配置                

13路工艺气体MFC控制;                

离子束清洗及辅助镀膜                

离子能量:100600eV1001200eV ;离子束流:100150 mA                

均匀区:Φ100~Φ180mm                

电控系统                

PLC+触摸屏手自一体控制或全自动控制,可编程控制器(PLC                

报警及保护                

完善的程序互锁,完备的防误操作设计及保护;                

系统缺水、过流过压等异常情况进行报警并执行相应保护措施。                

选配                

冷却循环水机/膜厚监控仪/基片台加热或水冷/蒸发电源                

设备配电                

电压:AC380V/50HZ                

功率:≤15KW                

设备尺寸                

×2500×1000mm                

技术支持&服务

1. 技术支持:在合同签订之前,我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下,为客户做出最优的选型和方案设计,使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等,以帮助客户做出正确的选择。

2. 安装与培训:在产品使用前,我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。

3. 产品质保:我们对产品提供12个月的质保期,在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。(耗材和易损件除外)

4. 终身维护:我们对提供的产品提供终身服务,对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费,免除一切人工费用。