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产品&应用

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电子束蒸发与手套箱一体设备

VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能，具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台，配1～3组电阻蒸发源。结构合理紧凑，性能稳定可靠，操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物（ITO等氧化物）/导电薄膜/光学薄膜等。

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高真空电子束蒸发镀膜设备

VZS-500/VZS-600 采用完全封闭的系统框架，结构紧凑，外观更漂亮，使用更安全。6-10KW e型电子枪，可选国产或进口，可选配离子束清洗及辅助镀膜功能。该设备广泛应用于科研院所、高校在片状、半球状、异形基底表面制备金属/化合物（ITO等氧化物）/导电薄膜/光学薄膜等。

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高真空电子束复合热蒸发镀膜设备

VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能，具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台，配1～3组电阻蒸发源。结构合理紧凑，性能稳定可靠，操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物（ITO等氧化物）/导电薄膜/光学薄膜等。

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