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产品&应用

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多功能真空镀膜设备

VZZ-500超高真空多源有机金属蒸发镀膜设备，可配4～12组蒸发源，金属蒸发源与有机蒸发源兼容设计。结构合理紧凑，性能稳定可靠，操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属、无机物及有机物薄膜，以及开展OLED、OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池研究。

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磁控溅射镀膜复合手套箱系统（VJCB-1800）

VJCB-1800磁控溅射镀膜联合手套箱系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空磁控溅射系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域。

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高真空热蒸发镀膜与手套箱复合设备

OPV/VZB系列系列真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域。

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高真空磁控溅射复合电阻蒸发多功能镀膜设备

VZZ-400 采用完全封闭的系统框架，结构紧凑，外观更漂亮，使用更安全。3～6组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备高质量功能薄膜、蒸镀电极等，特别适合OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池、半导体、有机EL、OLED显示研究与开发领域。

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高真空热蒸发复合磁控溅射多功能镀膜设备

VFZJ-300 采用分子泵准无油高真空系统，设备配套两组蒸发源和一套磁控溅射阴极，或者配套一组蒸发源和两套磁控溅射阴极；该设备性价比高，操控简便，广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、金属电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

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