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产品&应用

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电子束蒸发与手套箱一体设备

VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能，具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台，配1～3组电阻蒸发源。结构合理紧凑，性能稳定可靠，操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物（ITO等氧化物）/导电薄膜/光学薄膜等。

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高真空电阻蒸发镀膜设备-可嵌入手套箱

VZB-400型蒸镀设备的主要用户群体为大专院校和科研院所，该设备将真空蒸发镀膜工作室置于手套箱无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，实现试验样品在手套箱环境中完成旋涂、蒸镀、测试等工艺流程。

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高真空电阻蒸发镀膜设备-可嵌入手套箱

VZB-400型蒸镀设备的主要用户群体为大专院校和科研院所，该设备将真空蒸发镀膜工作室置于手套箱无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，实现试验样品在手套箱环境中完成旋涂、蒸镀、测试等工艺流程。

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电子束复合热蒸发镀膜设备

VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能，具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台，配1～3组电阻蒸发源。结构合理紧凑，性能稳定可靠，操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物（ITO等氧化物）/导电薄膜/光学薄膜等。

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多功能真空镀膜设备

VZZ-500超高真空多源有机金属蒸发镀膜设备，可配4～12组蒸发源，金属蒸发源与有机蒸发源兼容设计。结构合理紧凑，性能稳定可靠，操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属、无机物及有机物薄膜，以及开展OLED、OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池研究。

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磁控溅射镀膜复合手套箱系统（VJCB-1800）

VJCB-1800磁控溅射镀膜联合手套箱系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空磁控溅射系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域。

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