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高真空电阻蒸发镀膜设备-可嵌入手套箱

VZB-400型蒸镀设备的主要用户群体为大专院校和科研院所，该设备将真空蒸发镀膜工作室置于手套箱无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，实现试验样品在手套箱环境中完成旋涂、蒸镀、测试等工艺流程。

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电子束复合热蒸发镀膜设备

VZZS-550/VZZS-650 兼有电子束蒸发镀膜和热阻蒸发镀膜功能，具有离子束清洗及辅助镀膜能力。可配国产或进口电子枪1台，配1～3组电阻蒸发源。结构合理紧凑，性能稳定可靠，操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属/化合物（ITO等氧化物）/导电薄膜/光学薄膜等。

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真空蒸发镀膜手套箱系统（OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池研究）

VZB系列/OPV系列真空蒸发镀膜与手套箱联合系统的用户群体为科研院所及实验室，将真空蒸发系统工作室置于Glove box无水、无氧、无尘的超纯环境中，PVD与Glove box硬件无缝对接，操控融合一体，广泛应用于有机、无机、钙钛矿薄膜太阳能电池、OLED等研究领域。

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多源有机金属蒸发镀膜设备（6-12组蒸发源）

VZZ-500超高真空电阻蒸发镀膜设备，可配4～6组蒸发源，金属蒸发源与有机蒸发源兼容设计。结构合理紧凑，性能稳定可靠，操控简单方便。该设备广泛应用于科研院所、实验室制备金属、无机物及有机物薄膜，以及开展OLED、OPV/钙钛矿/无机薄膜太阳能电池研究。

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高真空有机金属蒸发镀膜设备-蒸镀电极

VZZ-300S采用大抽速分子泵准无油高真空系统，真空机电一体化设计，两组/三组蒸发源可兼容金属材料与有机材料的蒸镀，性价比高，操控简便。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

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高真空电阻蒸发镀膜设备-蒸镀电极

VZZ-300 采用大抽速分子泵准无油高真空系统，真空机电一体化设计，两组/三组蒸发源可兼容金属材料与有机材料的蒸镀，性价比高，操控简便。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等，特别适合太阳能电池、有机EL、LED显示管研究与开发领域。

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